Kolon temizliği ve pompa kontrolü.

Kolon temizliği, enjektör ve detektör bakımı ile gaz kaynağı kontrolü.

Aynaların temizliği, ışın kaynağı kontrolü ve interferometre bakımı.

Işıl kaynağı, atomizör ve optik bileşenlerin temizliği ve kontrolü.

Plazma gazı temizliği, optik sistem kontrolü ve düzenli kalibrasyon.